高(gao)純氯化(hua)氫(qing)常被用(yong)于(yu)電子(zi)工業(ye)中(zhong)外(wai)延生(sheng)長前硅(gui)和砷化(hua)鎵高(gao)溫氣相刻蝕，清除(chu)鈉離子(zi)；還用(yong)于(yu)金屬表(biao)面(mian)化(hua)學處(chu)理(li)；激光用(yong)混合氣，膠片生(sheng)產(chan)及碳纖維表(biao)面(mian)處(chu)理(li)。

    以(yi)石油(you)化(hua)(hua)工(gong)副產物(wu)氯化(hua)(hua)氫作(zuo)為原料來制(zhi)備高(gao)純度氯化(hua)(hua)氫。石油(you)化(hua)(hua)工(gong)副產氯化(hua)(hua)氫所，其(qi)中水含(han)(han)量低，對不銹鋼和(he)碳鋼基本無腐蝕，但(dan)(dan)其(qi)中通常(chang)會含(han)(han)有達1000ppm甚至更多的(de)(de)乙(yi)(yi)炔和(he)乙(yi)(yi)烯(xi)雜質。對于此(ci)種氣(qi)體(ti)的(de)(de)凈化(hua)(hua)通常(chang)采用精餾或吸(xi)附的(de)(de)方(fang)法(fa)，但(dan)(dan)由于其(qi)中乙(yi)(yi)炔和(he)乙(yi)(yi)烯(xi)雜技的(de)(de)沸點與(yu)氯化(hua)(hua)氫的(de)(de)沸點相近，很(hen)難采用精餾的(de)(de)方(fang)法(fa)脫除(chu)得較(jiao)干(gan)凈，而吸(xi)附方(fang)法(fa)操作(zuo)過程煩瑣，需(xu)要頻(pin)繁的(de)(de)更換吸(xi)附劑，生(sheng)產成本高(gao)。因此(ci)在(zai)生(sheng)產工(gong)藝(yi)中應用催化(hua)(hua)劑存在(zai)的(de)(de)條件下(xia)，乙(yi)(yi)炔、乙(yi)(yi)烯(xi)與(yu)氯化(hua)(hua)氫反應轉化(hua)(hua)為相應的(de)(de)相對氯化(hua)(hua)氫沸點較(jiao)高(gao)的(de)(de)易于脫除(chu)的(de)(de)鹵代烴(jing)，再用精餾法(fa)脫除(chu)。

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