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如何從無水氯化氫氣體中除去高沸點污染物
氯(lv)化(hua)(hua)氫(qing)的純(chun)度是氯(lv)化(hua)(hua)氫(qing)品質(zhi)考(kao)核的重要標準。高純(chun)氯(lv)化(hua)(hua)氫(qing)常被用于單晶(jing)硅外延片制造,醫藥(yao)中間體、農藥(yao)及精細化(hua)(hua)學(xue)品制造等(deng)。
無水氯(lv)化(hua)氫(qing)氣(qi)體(ti)(ti)中(zhong)除去高沸點污染物(wu),例(li)如氯(lv)代芳香化(hua)合物(wu)的方法,包括:壓(ya)縮含(han)有(you)污染物(wu)的氯(lv)化(hua)氫(qing)氣(qi)體(ti)(ti);在第(di)(di)一冷卻(que)(que)(que)(que)段(duan)中(zhong),冷卻(que)(que)(que)(que)所述(shu)壓(ya)縮氣(qi)體(ti)(ti)至(zhi)第(di)(di)二(er)冷卻(que)(que)(que)(que)段(duan)出口溫度(du)以(yi)上至(zhi)少20℃,但(dan)在最高熔融化(hua)合物(wu)的冰點以(yi)上,在第(di)(di)二(er)冷卻(que)(que)(que)(que)段(duan)中(zhong),進一步將(jiang)所述(shu)壓(ya)縮氣(qi)體(ti)(ti)冷卻(que)(que)(que)(que)到-20℃,將(jiang)冷卻(que)(que)(que)(que)氣(qi)體(ti)(ti)從第(di)(di)二(er)冷卻(que)(que)(que)(que)段(duan)返回第(di)(di)一冷卻(que)(que)(que)(que)段(duan),并回收來自第(di)(di)一冷卻(que)(que)(que)(que)段(duan)和(he)第(di)(di)二(er)冷卻(que)(que)(que)(que)段(duan)的含(han)污染物(wu)的冷凝物(wu)流(liu)。也公開(kai)了適(shi)用于(yu)進行本方法的設備。
公司現有年產2000噸高純氯化氫生產線,連續批量生產應用于單晶硅外延片制造的5N(99.999%)電子級(VLSI)氯化氫,以及應用于醫藥中間體、農藥及精細化學品制造的2.8N(99.8%)化學級。產(chan)品性能先進(jin),質量穩定,處于國(guo)內(nei)領(ling)先地位,達到國(guo)際(ji)先進(jin)水平。