淄博言赫特氣有(you)限公司的電子級(VLSI)氯化氫產(chan)品(pin)生產(chan)裝(zhuang)置于2003年(nian)投產(chan)，經北京市科(ke)委鑒(jian)定，主要用于半導體(ti)器(qi)件生產(chan)中單(dan)晶硅(gui)片的氣相拋光、外延基座腐蝕(shi)及(ji)硬質合(he)金制造。

    電子及氯化氫在我們生活的各個領域中具有廣泛的應用前景，它不僅是電子工業中制造大規模集成電路所需的重要材料之一，而且應用于醫藥、化工、半導體行業，因此需求量越來越大。 
    目(mu)前已有研(yan)(yan)究(jiu)人(ren)在研(yan)(yan)究(jiu)制(zhi)備(bei)(bei)過程中成(cheng)(cheng)(cheng)(cheng)功合成(cheng)(cheng)(cheng)(cheng)了電(dian)(dian)子(zi)級氯(lv)(lv)化氫(qing)(qing)，同時從這些合成(cheng)(cheng)(cheng)(cheng)方法中發(fa)現(xian)解析(xi)法和(he)(he)鹽酸脫析(xi)法制(zhi)備(bei)(bei)氯(lv)(lv)化氫(qing)(qing)工(gong)藝(yi)簡單可(ke)大規(gui)模生(sheng)(sheng)產(chan)，但(dan)是(shi)制(zhi)備(bei)(bei)的(de)(de)氯(lv)(lv)化氫(qing)(qing)純度偏(pian)低，越來越不滿(man)足電(dian)(dian)子(zi)工(gong)業，尤其(qi)是(shi)集(ji)成(cheng)(cheng)(cheng)(cheng)電(dian)(dian)路的(de)(de)要求。合成(cheng)(cheng)(cheng)(cheng)法生(sheng)(sheng)產(chan)氯(lv)(lv)化氫(qing)(qing)的(de)(de)純度偏(pian)高(gao)(gao)，但(dan)其(qi)中水量(liang)高(gao)(gao)，腐蝕嚴重，對設(she)備(bei)(bei)要求高(gao)(gao)，生(sheng)(sheng)產(chan)成(cheng)(cheng)(cheng)(cheng)本高(gao)(gao)。考慮(lv)到環保以及(ji)工(gong)業副產(chan)品回收(shou)利用等多方面(mian)因素，制(zhi)備(bei)(bei)高(gao)(gao)純度氯(lv)(lv)化氫(qing)(qing)的(de)(de)合成(cheng)(cheng)(cheng)(cheng)是(shi)必然的(de)(de)發(fa)展趨勢(shi)，正如石油化工(gong)副產(chan)物氯(lv)(lv)化氫(qing)(qing)提純法。此提純法無需(xu)外加反(fan)應介質(zhi)，因而(er)(er)避免了其(qi)它雜質(zhi)介質(zhi)的(de)(de)引入，而(er)(er)且操作簡單，生(sheng)(sheng)產(chan)成(cheng)(cheng)(cheng)(cheng)本低，但(dan)是(shi)在我(wo)(wo)國技術還不太成(cheng)(cheng)(cheng)(cheng)熟。我(wo)(wo)國的(de)(de)電(dian)(dian)子(zi)級氯(lv)(lv)化氫(qing)(qing)產(chan)品大多從美，日等國進口，價格昂貴。因此我(wo)(wo)們需(xu)要進一(yi)(yi)步研(yan)(yan)究(jiu)與完善(shan)電(dian)(dian)子(zi)級氯(lv)(lv)化氫(qing)(qing)的(de)(de)合成(cheng)(cheng)(cheng)(cheng)工(gong)藝(yi)，給我(wo)(wo)國帶來一(yi)(yi)定可(ke)觀的(de)(de)社會(hui)效(xiao)應和(he)(he)經(jing)濟效(xiao)益。

    我公司5.0N電子級(VLSI)氯化氫產(chan)(chan)品經國(guo)內外(wai)多(duo)家半導體重點企業(ye)連續大量(liang)(liang)在單晶(jing)硅片(pian)氣相(xiang)拋光和外(wai)延基座腐(fu)蝕工藝中(zhong)廣泛(fan)使用(yong)，制得的(de)器(qi)件產(chan)(chan)品質(zhi)量(liang)(liang)與國(guo)際知(zhi)名品牌相(xiang)當。