發(fa)展循環(huan)(huan)經濟(ji)的今天，對(dui)于氯化(hua)氫等眾多化(hua)工(gong)副產(chan)物的回收再利用是非常重(zhong)的一環(huan)(huan)。那(nei)么(me)在三氯氫硅的生產(chan)中(zhong)，氯化(hua)氫的回收循環(huan)(huan)也是重(zhong)點。

    未被冷凝下來的氯化氫、氫氣、氯氣返回氯化氫合成系統，氫氣與氯氣按一定比例混合，燃燒生成氯化氫，循環使用。
    采用綜(zong)合回收方法使合成工序開路工藝流程變為閉路循(xun)環，提高(gao)原材料(liao)利用率，降低(di)(di)了(le)原材料(liao)單耗，實現了(le)無廢氣(qi)排出，徹底解決(jue)了(le)環境污染問(wen)題。但是，尾(wei)氣(qi)中含有的微量氯硅(gui)烷容(rong)易與氯化氫中的水反(fan)應生成固體二(er)氧化硅(gui)堵塞管(guan)道，降低(di)(di)三(san)氯氫硅(gui)的收率。

    此方法因其原材料氯化氫的強吸水性，在運(yun)行過程中可能會遇到其他的問題，所以，不是最好的處理(li)方式。