發(fa)展循環經濟的(de)今天，對于(yu)氯化(hua)氫(qing)等(deng)眾多化(hua)工副產物的(de)回收再(zai)利用(yong)是非常重(zhong)的(de)一(yi)環。那(nei)么在三氯氫(qing)硅的(de)生產中，氯化(hua)氫(qing)的(de)回收循環也是重(zhong)點。

    未被冷凝下來的氯化氫、氫氣、氯氣返回氯化氫合成系統，氫氣與氯氣按一定比例混合，燃燒生成氯化氫，循環使用。
    采用綜(zong)合回收方法使合成(cheng)工(gong)序開路(lu)工(gong)藝流程變為閉路(lu)循環，提高原材料(liao)利用率，降低了(le)(le)(le)原材料(liao)單耗，實現了(le)(le)(le)無廢氣排(pai)出(chu)，徹(che)底解決了(le)(le)(le)環境污(wu)染問題。但是，尾氣中(zhong)含有的(de)微(wei)量氯硅烷容易(yi)與氯化(hua)(hua)氫中(zhong)的(de)水(shui)反應(ying)生成(cheng)固體二氧化(hua)(hua)硅堵塞管道，降低三氯氫硅的(de)收率。

    此方法(fa)因其原材料氯化氫的強吸水性，在運行(xing)過程中(zhong)可能會遇(yu)到其他的問(wen)題，所以，不是(shi)最好的處理(li)方式。