淄博言赫(he)特氣有(you)限公(gong)司現有(you)年產2000噸高純氯化(hua)氫生(sheng)產線，連續(xu)批(pi)量生(sheng)產應(ying)用于單(dan)晶硅外延片制造的5N(99.999%)電子級(VLSI)氯化(hua)氫。

    電(dian)(dian)子(zi)(zi)級(ji)(ji)氯化氫廣泛(fan)應用于半(ban)導(dao)體(ti)、微電(dian)(dian)子(zi)(zi)和關聯的(de)(de)太陽能(neng)(neng)(neng)電(dian)(dian)池(chi)等高(gao)(gao)科(ke)技(ji)(ji)產業(ye)，或用于薄膜堆積(ji)、刻蝕、摻(chan)雜、鈍化、清洗，或用作載氣(qi)、維護(hu)氣(qi)氛等等。因為半(ban)導(dao)體(ti)和微電(dian)(dian)子(zi)(zi)技(ji)(ji)能(neng)(neng)(neng)向更高(gao)(gao)功能(neng)(neng)(neng)、更高(gao)(gao)集成(cheng)度開(kai)展(zhan)，對電(dian)(dian)子(zi)(zi)級(ji)(ji)氯化氫的(de)(de)純度提出了越(yue)來越(yue)高(gao)(gao)的(de)(de)需求，電(dian)(dian)子(zi)(zi)級(ji)(ji)特(te)(te)氣(qi)的(de)(de)凈(jing)(jing)(jing)(jing)化更加(jia)要害和重要。目(mu)(mu)前國內的(de)(de)超高(gao)(gao)純度凈(jing)(jing)(jing)(jing)化技(ji)(ji)能(neng)(neng)(neng)首要依(yi)靠進口，本(ben)身的(de)(de)技(ji)(ji)能(neng)(neng)(neng)水準（6N）與國際(ji)先(xian)進水平(8-9N)有較大距(ju)離。本(ben)項目(mu)(mu)將描(miao)繪和研制(zhi)一(yi)系列(lie)(lie)高(gao)(gao)效、高(gao)(gao)容量、高(gao)(gao)選擇性、低成(cheng)本(ben)的(de)(de)新(xin)式納米凈(jing)(jing)(jing)(jing)化劑(ji)，對MO源、惰性氣(qi)體(ti)、氫化物氣(qi)體(ti)、反響(xiang)性氣(qi)體(ti)、腐(fu)蝕性氣(qi)體(ti)等5個系列(lie)(lie)，50多(duo)種電(dian)(dian)子(zi)(zi)特(te)(te)氣(qi)進行結尾凈(jing)(jing)(jing)(jing)化，使電(dian)(dian)子(zi)(zi)級(ji)(ji)氯化氫純度由ppm級(ji)(ji)進步(bu)到(dao)ppb、ppt級(ji)(ji)，并將特(te)(te)氣(qi)傳輸(shu)和控制(zhi)系統(tong)對氣(qi)體(ti)純度的(de)(de)影響(xiang)降(jiang)至最小(xiao)，然后極大地改進工藝才能(neng)(neng)(neng)，下降(jiang)產物缺點， 進步(bu)制(zhi)程的(de)(de)產值，滿意下一(yi)代半(ban)導(dao)體(ti)、微電(dian)(dian)子(zi)(zi)以及關聯高(gao)(gao)技(ji)(ji)能(neng)(neng)(neng)開(kai)展(zhan)的(de)(de)需求。本(ben)項目(mu)(mu)將構(gou)成(cheng)有自主知識產權的(de)(de)超高(gao)(gao)純度電(dian)(dian)子(zi)(zi)級(ji)(ji)氯化氫凈(jing)(jing)(jing)(jing)化技(ji)(ji)能(neng)(neng)(neng)，處理超高(gao)(gao)純度電(dian)(dian)子(zi)(zi)級(ji)(ji)氯化氫凈(jing)(jing)(jing)(jing)化這一(yi)核心技(ji)(ji)能(neng)(neng)(neng)的(de)(de)國產化問題。

    我公司所主營的鋼瓶裝電子級氯化氫產(chan)品(pin)分別經(jing)國家標準物質研究中心和信息產(chan)業部專用材料質量監督檢(jian)(jian)驗中心抽樣(yang)檢(jian)(jian)驗，純(chun)度大于(yu)99.999%，總雜質含量小于(yu)5ppm，符合(he)國家標準GB/T24469-2009。