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電子工業對氯化氫的新要求

返回  打印  發布時間:2013/11/5 點擊:10302

    現在電(dian)(dian)子行業(ye)(ye)也(ye)成為(wei)一(yi)個熱門(men)的(de)行業(ye)(ye),正(zheng)向著高(gao)集成化(hua)、高(gao)完(wan)整性(xing)發展。電(dian)(dian)子行業(ye)(ye)的(de)制造(zao)需要(yao)氯化(hua)氫的(de)參(can)與,因為(wei)電(dian)(dian)子行業(ye)(ye)的(de)要(yao)求(qiu)(qiu)(qiu)提高(gao)了,所以氯化(hua)氫的(de)使(shi)用要(yao)求(qiu)(qiu)(qiu)也(ye)提高(gao)了,我們一(yi)起(qi)來(lai)看(kan)一(yi)下電(dian)(dian)子行業(ye)(ye)對氯化(hua)氫的(de)新要(yao)求(qiu)(qiu)(qiu)。

    電子級氯(lv)化(hua)(hua)(hua)氫(qing)是指純度高于99.999%的(de)高純度氯(lv)化(hua)(hua)(hua)氫(qing)氣(qi)體。除(chu)了(le)對純度要求(qiu)(qiu)較高以外,對氯(lv)化(hua)(hua)(hua)氫(qing)氣(qi)體的(de)品質要求(qiu)(qiu)也非常嚴格。

    隨著微電子工業向著大尺寸、高集成化、高均勻性和高完整性方向的飛速發展,對廣泛用于單晶硅氣相拋光和外延機座腐蝕的電子級氯化氫也有了新的要求。除了應具有99.999%以上的純度,還要求氯化氫的THC、H2O和金屬離子等有機雜質的含量越低越好。
    電(dian)子(zi)級氯化(hua)(hua)氫主要用(yong)于外延(yan)生(sheng)長前硅和砷(shen)化(hua)(hua)鎵高溫氣(qi)(qi)相刻蝕(shi),清除鈉離子(zi)。另外高純氯化(hua)(hua)氫也用(yong)于金屬表面化(hua)(hua)學處理,激光用(yong)混合氣(qi)(qi)、膠(jiao)片生(sheng)產及碳纖維表面處理。過去我(wo)國大多(duo)從美、日等國進口電(dian)子(zi)級氯化(hua)(hua)氫,但近年來,我(wo)國電(dian)子(zi)工業(ye)所需的化(hua)(hua)學氣(qi)(qi)體的研制,在技術上已有(you)不少突破和發(fa)展(zhan)。

    從以上介紹來看我們電子所需的氣體在近幾年已經有了很大的發展,同時北京華宇同方在很大程度上填補了電子級氯化氫的空(kong)白(bai)。言赫特氣直(zhi)屬于北京華宇(yu)同方,所以我們的質量您(nin)絕度放心,是(shi)您(nin)值(zhi)得(de)信賴的一家公司。

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