高純氯(lv)化氫(qing)是集成(cheng)電路生(sheng)產(chan)中(zhong)硅片(pian)蝕刻，鈍化和外延等工藝的(de)重要材料，也可用(yong)于(yu)金屬冶煉，光導通訊和科學(xue)研究等領(ling)域。隨著大規模集成(cheng)電路的(de)發(fa)展，對(dui)氯(lv)化氫(qing)純度的(de)要求越來越高，對(dui)其(qi)中(zhong)雜質的(de)含(han)量要求越來越苛刻，尤其(qi)要求嚴格限制(zhi)(zhi)碳氫(qing)化合物(wu)和碳氧化合物(wu)的(de)含(han)量，以防(fang)止硅片(pian)加工過(guo)程中(zhong)c的(de)形(xing)成(cheng)。國內外對(dui)于(yu)制(zhi)(zhi)備高純氯(lv)化氫(qing)的(de)方(fang)法有很多。

    20世(shi)紀(ji)70年(nian)代以(yi)(yi)前(qian)電子工業用高純氯(lv)化(hua)(hua)氫(qing)的制(zhi)備一直是將濃(nong)(nong)硫(liu)(liu)酸滴加到(dao)濃(nong)(nong)鹽酸中，將其中的水(shui)吸收掉，使(shi)過飽和(he)的氯(lv)化(hua)(hua)氫(qing)氣(qi)體析出 。20世(shi)紀(ji)8O年(nian)代以(yi)(yi)后制(zhi)備方(fang)法(fa)發展(zhan)到(dao)用濃(nong)(nong)硫(liu)(liu)酸與(yu)焙(bei)烘干的氯(lv)化(hua)(hua)鉀反應，生成高純氯(lv)化(hua)(hua)氫(qing)氣(qi)體，用壓縮機壓入鋼瓶(ping)中。即(ji)曼海姆法(fa)硫(liu)(liu)酸鉀聯(lian)產氯(lv)化(hua)(hua)氫(qing)氣(qi)體日。此種方(fang)法(fa)生產的氯(lv)化(hua)(hua)氫(qing)氣(qi)體純度在(zai)99．9％(質量分數)以(yi)(yi)上。

    為了測定(ding)在吸(xi)(xi)(xi)飽HCl-H2O件下的(de)耐酸(suan)(suan)性，曾使(shi)樣(yang)品(pin)吸(xi)(xi)(xi)HCl-H2O飽和后(hou)，用塑料袋密封放置多天，再(zai)生后(hou)再(zai)測其吸(xi)(xi)(xi)水性能，吸(xi)(xi)(xi)水量仍未下降。其耐酸(suan)(suan)性能良好。A型分子篩(shai)(shai)耐酸(suan)(suan)性能差，吸(xi)(xi)(xi)附(fu)性能大幅(fu)度下降。JMT型干燥劑(ji)是一種(zhong)含硅鋁比的(de)絲光沸石型分子篩(shai)(shai)，具(ju)有(you)良好的(de)熱穩定(ding)性，除(chu)在300℃前有(you)一脫水而(er)引(yin)起明顯吸(xi)(xi)(xi)熱峰外(wai)，在900℃前無明顯的(de)分解峰，說(shuo)明其晶格具(ju)有(you)優(you)良的(de)穩定(ding)性。

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