鹽酸脫析法是將濃鹽酸置于脫析塔鐘加熱脫析制備氯化氫氣體，在七十年代末期發展出來的。然后(hou)(hou)，經(jing)過一系列的常溫、低(di)(di)溫干燥、吸(xi)附(fu)除水以及二氧化碳，壓(ya)縮至1.2Mpa，進(jin)行(xing)低(di)(di)溫精餾(liu)，再經(jing)過低(di)(di)溫吸(xi)附(fu)除去氮后(hou)(hou)壓(ya)縮至4.2Mpa，然后(hou)(hou)再進(jin)行(xing)裝瓶(ping)。

     發(fa)(fa)生法是(shi)(shi)在七十年(nian)代以前，電子工業用(yong)高純度氯(lv)化氫(qing)的(de)制備一直是(shi)(shi)將濃硫酸滴加到濃鹽(yan)酸中(zhong)(zhong)，將其中(zhong)(zhong)的(de)水吸收(shou)掉，使(shi)得過飽和的(de)氯(lv)化氫(qing)氣體析出。到了(le)七十年(nian)代到八十年(nian)代初期(qi)，制備方法發(fa)(fa)展到用(yong)濃硫酸與(yu)焙烘(hong)干的(de)食鹽(yan)反應，生成(cheng)高純度的(de)氯(lv)化氫(qing)氣體，再用(yong)壓縮機壓入鋼瓶中(zhong)(zhong)。 

     合成法用氯和氫在合成爐中進行燃燒反應生成氯化氫氣體是八十年代初為適應我國電子工業的迅速發展而提出的，在技術上較為先進，由合成爐出來的氯化氫氣體經(jing)常溫、低溫干(gan)燥和吸(xi)附凈化，在低溫、低壓下冷(leng)凝(ning)，排(pai)除(chu)不凝(ning)氣體雜(za)質，以液態裝瓶。氯(lv)、氫合成中，氫過(guo)量5％左(zuo)右，氯(lv)化氫氣體中含氫高，以間歇精(jing)餾裝置(zhi)除(chu)氫。此外，原料氫是經(jing)鈀膜擴散提純，生(sheng)產規模受(shou)到一定限制。 

     發生法(fa)(fa)以及脫析法(fa)(fa)生產規模較大。