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氯化氫 改良西門子法—閉環式三氯氫硅氫還原法
改良西門(men)子法是用氯和氫合(he)成氯化氫（或外(wai)購氯化氫），氯化氫和產(chan)業(ye)硅粉在一定(ding)的溫度下(xia)合(he)成三氯氫(qing)硅，然后對(dui)三氯氫(qing)硅進(jin)(jin)行分離精餾提(ti)純(chun)，提(ti)純(chun)后的三氯氫(qing)硅在氫(qing)還原爐內進(jin)(jin)行CVD反應生產(chan)高(gao)純(chun)多晶硅。
國內(nei)外(wai)現有的多(duo)晶(jing)硅廠盡大部分采用此法生產電子(zi)級與太陽能級多(duo)晶(jing)硅。
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