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氯化氫 改良西門子法—閉環式三氯氫硅氫還原法
改良西(xi)門(men)子(zi)法是用氯和(he)氫合成氯(lv)化氫（或外購(gou)氯化氫），氯化(hua)氫(qing)和產業硅(gui)粉在一定的溫度下合成(cheng)三(san)氯(lv)(lv)氫硅(gui)，然后對三(san)氯(lv)(lv)氫硅(gui)進行分離(li)精餾提純，提純后的三(san)氯(lv)(lv)氫硅(gui)在氫還原爐內進行CVD反應生產高純多晶硅(gui)。
國內外現(xian)有(you)的(de)多(duo)晶硅廠盡(jin)大部(bu)分采(cai)用此法生產電子(zi)級(ji)與(yu)太陽能級(ji)多(duo)晶硅。
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